标准号:GB/T 6620-1995
标准名称:硅片翘曲度非接触式测试方法
发布日期:1995-04-18
实施日期:1995-12-01
废止日期:2010-06-01
批准发布部门:国家标准化管理委员会
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位:洛阳单晶硅厂
标准号:GB/T 6620-1995
标准名称:硅片翘曲度非接触式测试方法
发布日期:1995-04-18
实施日期:1995-12-01
废止日期:2010-06-01
批准发布部门:国家标准化管理委员会
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位:洛阳单晶硅厂
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