标准号：GB/T 12964-2003
标准名称：硅单晶抛光片
代替标准：GB/T 12964-1996
发布日期：2003-06-16
实施日期：2004-01-01
废止日期：2019-06-02
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：北京有色金属研究总院
本标准规定了硅单晶抛光片(简称硅抛光片)的必要的相关性术语、产品分类、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于直拉硅单晶研磨片经腐蚀减薄后进行单面抛光制备的硅抛光片。产品主要用于制作集成电路等半导体器件或做为硅外延沉积的衬底。
