标准号：GB/T 20724-2006
标准名称：薄晶体厚度的会聚束电子衍射测定方法
发布日期：2006-12-25
实施日期：2007-08-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会
起草单位：北京科技大学
起草人：柳得橹
本标准规定了用透射电子显微镜测定薄晶体试样厚度的会聚束电子衍射方法。本方法适用于测定线度为10m～×10m、厚度在几十至几百纳米范围的薄晶体厚度。
GB/T 20724-2006 薄晶体厚度的会聚束电子衍射测定方法
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