标准号：GB/T 42263-2022
标准名称：硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法
发布日期：2022-12-30
实施日期：2023-04-01
批发部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司
起草人：马农农、何友琴、刘立娜、何烜坤、李素青、陈潇
本文件描述了硅单晶中氮含量的二次离子质谱测试方法。
本文件适用于硼、锑、砷、磷的掺杂浓度小于1×1020cm-3（0.2%）的硅单晶中氮含量的测定，测定范围不小于1×1014cm-3。
