标准号：GB/T 42106-2022
标准名称：纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法
发布日期：2022-12-30
实施日期：2023-07-01
批发部门：中国科学院
归口单位：全国纳米技术标准化技术委员会
起草单位：中国科学院物理研究所、深圳市标准技术研究院、国家纳米科学中心
起草人：顾长志、杨海方、王益群、樊阳波、李俊杰、刘前
本文件描述了离子束辐照诱导应变技术构建三维纳米结构与器件的加工方法，主要包括加工原理、材料与设备、环境条件、加工方法。
本文件适用于离子束辐照诱导直立纳米线和平面纳米薄膜的空间应变，进而实现三维空间中由一维纳米线和二维纳米薄膜构成的三维纳米结构与器件。
