标准号：GB/T 14603-2009
标准名称：电子工业用气体 三氟化硼
代替标准：GB/T 14603-1993
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-05-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：核工业理化工程研究院、西南化工研究设计院、大连光明化工研究院
起草人：邓建平、倪志强、孙福楠、周鹏云
u3000u3000本标准规定了电子工业用三氟化硼的技术要求、试验方法检验规则、包装、标志、贮运及安全要求。 u3000u3000本标准适用于以氟气和硼单质为原料，采用直接化合的方法制得并经过纯化制取的三氟化硼；和以氟硼酸钠为原料热分解法制得并经过纯化制取的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。
