标准号：GB/T 14140-2009
标准名称：硅片直径测量方法
代替标准：GB/T 14140.1-1993、GB/T 14140.2-1993
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：洛阳单晶硅有限责任公司
起草人：刘玉芹、蒋建国、张静雯、冯校亮
u3000u3000本标准规定了用光学投影仪测量硅片直径的方法。 u3000u3000本标准适用于测量圆形硅片的直径，可测最大直径为Φ300mm。本标准不适用于测量硅片的不圆度。
