标准号：GB/T 14264-2009
标准名称：半导体材料术语
代替标准：GB/T 14264-1993
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：中国有色金属工业标准计量质量研究所、杭州海纳半导体有限公司、有研半导体材料股份有限公司、国瑞电子材料有限责任公司等
起草人：孙燕、黄笑容、卢立延、郑琪、向磊、翟富义
u3000u3000本标准规定了半导体材料及其生长工艺、加工、晶体缺陷和表面沾污等方面的主要术语和定义。 u3000u3000本标准适用于元素和化合物半导体材料。
