标准号：GB/T 26307-2010
标准名称：银靶
发布日期：2011-01-14
实施日期：2011-11-01
批准发布部门：中国有色金属工业协会
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会
起草单位：北京有研亿金新材料股份有限公司
起草人：闫琳、杨华、雷继锋、熊晓东、李蕊、杨永刚、江轩
本标准规定了银靶的要求、试验方法、检验规则和标志，包装、运输，贮存及质量证明书与订货单(或合同)内容。本标准适用于半导体器件用的各类银溅射靶材(以下简称银靶)。其他用途的靶材也可参照使用。
标准号：GB/T 26307-2010
标准名称：银靶
发布日期：2011-01-14
实施日期：2011-11-01
批准发布部门：中国有色金属工业协会
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会
起草单位：北京有研亿金新材料股份有限公司
起草人：闫琳、杨华、雷继锋、熊晓东、李蕊、杨永刚、江轩
本标准规定了银靶的要求、试验方法、检验规则和标志，包装、运输，贮存及质量证明书与订货单(或合同)内容。本标准适用于半导体器件用的各类银溅射靶材(以下简称银靶)。其他用途的靶材也可参照使用。
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