标准号：GB/T 26570.1-2011
标准名称：气体中颗粒含量的测定 光散射法 第1部分：管道气体中颗粒含量的测定
发布日期：2011-06-16
实施日期：2011-11-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：上海计量测试技术研究院、西南化工研究设计院
起草人：陈鹰、周朋云
本部分规定了气体中颗粒含量测定的术语和定义、方法原理、仪器要求、试验步骤、校准和量值溯源、结果计算和判别、报告。本部分适用于通过管道输送的气体中颗粒大小及含量的测定．颗粒直径的检测范围：0.1μm～10μm。本部分不适用于瓶装气体及以液相状态存在的气体。
