标准号：GB/T 30869-2014
标准名称：太阳能电池用硅片厚度及总厚度变化测试方法
发布日期：2014-07-24
实施日期：2015-02-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司、乐山新天源太阳能科技有限公司、有研半导体材料股份有限公司、青洋电子材料有限公司
起草人：何紫军、冯地直、陈琳、荆旭华、程宇、黎阳、刘卓
本标准规定了太阳能电池用硅片（以下简称硅片）厚度及总厚度变化的分立式和扫描式测量方法。本标准适用于符合GB／T 26071、GB／T 29055规定尺寸的硅片的厚度及总厚度变化的测量，分立式测量方法适用于接触式及非接触式测量，扫描式测量方法只适用于非接触式测量。在测量仪器准许的情况下，本标准也可用于其他规格硅片的厚度及总厚度变化的测量。
