标准号：GB/T 30656-2014
标准名称：碳化硅单晶抛光片
发布日期：2014-12-31
实施日期：2015-09-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：北京天科合达蓝光半导体有限公司、中国科学院物理研究所
起草人：陈小龙、郑红军、刘春俊、刘振洲、张玮、郭钰
本标准规定了4H及6H碳化硅单晶抛光片的要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存、质量证明书及订货单（或合同）内容。本标准适用于4H及6H碳化硅单晶研磨片经单面或双面抛光后制备的碳化硅单晶抛光片。产品主要用于制作半导体照明及电力电子器件的外延衬底。
