标准号：GB/T 33826-2017
标准名称：玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法
发布日期：2017-05-31
实施日期：2017-12-01
批准发布部门：中国科学院
归口单位：全国纳米技术标准化技术委员会
起草单位：中国建筑材料科学研究总院、宣城晶瑞新材料有限公司、中国建材检验认证集团股份有限公司、广东中科华大工程技术检测有限公司、漳州旗滨玻璃有限公司、冶金工业信息标准研究院、中国建材检验认证集团（陕西）有限公司、哈尔滨量具刃具集团有限责任公司量仪研究所
起草人：孟政、刘静、戴石锋、汪洪、张庆华、代铮、郎岩梅、候英兰、徐勇、梁慧超、张继军、张卫星、赵晋武
本标准规定了用触针式轮廓仪法测量玻璃衬底上纳米薄膜厚度的原理、仪器要求、试验环境、要求、步骤及测试报告等。
本标准适用于玻璃衬底上厚度在10nm~1000nm范围内的纳米薄膜厚度测量，且薄膜与衬底之间存在或可刻蚀出台阶。其他硬质平面衬底可参考本标准执行。
