标准号：GB/T 36646-2018
标准名称：制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备
发布日期：2018-09-17
实施日期：2019-01-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子技术标准化研究院
起草人：刘鹏、孙永健、王健辉、丁晓民、冯亚彬
本标准规定了制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备（以下简称“HVPE设备”）的产品分类和标记、工作条件、要求、检测方法、检验规则、标志、包装、运输和储存。
本标准适用于制备直径50.8mm~152.4mm氮化物半导体材料的HVPE设备。
