标准号：GB/T 39516-2020
标准名称：微纳米标准样板（几何量）
发布日期：2020-11-19
实施日期：2021-06-01
批准发布部门：中国机械工业联合会
归口单位：全国量具量仪标准化技术委员会
起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所、广西壮族自治区计量检测研究院、上海市计量测试技术研究院、珠海市怡信测量科技有限公司、成都工具研究所有限公司、中国计量科学研究院、中国计量大学
起草人：李锁印、付兴昌、赵琳、冯亚南、姜志刚、许刚、雷李华、赵军、傅云霞、梁法国、韩志国、许晓青、张晓东、苏翼雄、张恒、张松涛、蔡潇雨
本标准规定了微纳米标准样板(几何量)的术语和定义、型式与基本参数、要求、检查条件、检查方法、标志、运输及储存等。
本标准适用于线间隔为0.05m~10pm的微纳米线间隔标准样板、台阶高度为0.01m~100m的微纳米台阶高度标准样板、薄膜厚度为2nm~1000nm的纳米膜厚标准样板和线宽为25nm~1000nm的纳米线宽标准样板。
