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GB/T 40344.1-2021 真空技术 真空泵性能测量标准方法 第1部分:总体要求

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标准号:GB/T 40344.1-2021

标准名称:真空技术 真空泵性能测量标准方法 第1部分:总体要求

发布日期:2021-08-20

实施日期:2022-03-01

批准发布部门:中国机械工业联合会

归口单位:全国真空技术标准化技术委员会

起草单位:浙江真空设备集团有限公司、台州市星光真空设备制造有限公司、威海智德真空科技有限公司、北京北仪创新真空技术有限责任公司、惠州飞凯新材料有限公司、沈阳真空技术研究所有限公司、淄博真空设备厂有限公司、湖南维格磁流体股份有限公司、淄博市机电泵类产品质量检验研究院、台州环球真空设备制造有限公司、山东伯仲真空设备股份有限公司

起草人:钟云会、罗根松、许涛、徐法俭、陈海垚、言继春、张胜、姜云锋、赵伟胜、赵计春、雷春栋、王玲玲、杨华飞、高逊懿、黄志婷、周法顺、王功发、林乐忠、侯荣华、王红雪、钱天景、陈修明

GB/T 40344的本部分规定了三种体积流率测量方法,并分别规定了测量真空泵基础压力、压缩比和临界前级压力的方法。

测量体积流率的第一种方法(流量法)是一种基础方法:向真空泵内注入稳定流量的气体,同时测量泵的人口压力。在实际测量中,气体流量的测量可能是复杂或不精确的。为此,规定了另两种方法,以避免直接测量流量。

测量体积流率的第二种方法(小孔法)适用于人口压力非常低(高真空或者超高真空)、流量非常小的情况。该方法是基于测量测试罩双测试室中的压力比。该测试罩由一个带圆孔的薄壁分隔成两个腔室。

测量体积流率的第三种方法(抽气法)是基于大型容器抽空的方法,非常适用于自动化测量。通过抽气间隔前后的两个压力值和测试罩的体积来计算体积流率。测量结果及最后得出的体积流率受不同条件影响,如漏率和放气率、抽气间隔过程中由于接近于等熵膨胀引起的气体冷却、低压分子流态下引起测试罩与真空泵之间连接管路的流阻增加。

测量方法的选择取决于特定种类真空泵的属性。例如,只有需要配备前级泵的真空泵才需要测量临界前级压力。所有未在本部分中规定的真空泵的测量参数(例如功耗的测量),在相应泵的标准中予以规定。

GB/T 40344.1-2021 真空技术 真空泵性能测量标准方法 第1部分:总体要求

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