标准号:GB/T 20724-2021
标准名称:微束分析 薄晶体厚度的会聚束电子衍射测定方法
代替标准:GB/T 20724-2006
发布日期:2021-12-31
实施日期:2022-07-01
批准发布部门:国家标准化管理委员会
归口单位:全国微束分析标准化技术委员会
起草单位:北京科技大学、中国航发北京航空材料研究院
起草人:柳得橹、娄艳芝
本文件描述了用透射电子显微镜/扫描透射电子显微镜测定薄晶体试样厚度的会聚束电子衍射方法。
本文件适用于测定线度为几十纳米至几百微米、厚度在几十纳米至几百纳米范围内的薄晶体试样厚度。