标准号：GB/T 13388-1992
标准名称：硅片参考面结晶学取向Ｘ射线测量方法
发布日期：1992-02-19
实施日期：1992-10-01
废止日期：2010-06-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：北京有色金属研究总院
GB/T 13388-1992 硅片参考面结晶学取向Ｘ射线测量方法
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