标准号：GB/T 14140.1-1993
标准名称：硅片直径测量方法 光学投影法
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
废止日期：2010-06-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：洛阳单晶硅厂
GB/T 14140.1-1993 硅片直径测量方法 光学投影法
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