标准号:GB/T 14264-1993
标准名称:半导体材料术语
发布日期:1993-03-20
实施日期:1993-12-01
废止日期:2010-06-01
批准发布部门:国家标准化管理委员会
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位:中国有色金属总公司标准所
标准号:GB/T 14264-1993
标准名称:半导体材料术语
发布日期:1993-03-20
实施日期:1993-12-01
废止日期:2010-06-01
批准发布部门:国家标准化管理委员会
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位:中国有色金属总公司标准所
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