GB/T 14264-1993 半导体材料术语

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标准号:GB/T 14264-1993

标准名称:半导体材料术语

发布日期:1993-03-20

实施日期:1993-12-01

废止日期:2010-06-01

批准发布部门:国家标准化管理委员会

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位:中国有色金属总公司标准所

GB/T 14264-1993 半导体材料术语

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