标准号：YS/T 893-2013
标准名称：电子薄膜用高纯钛溅射靶材
发布日期：2013-10-17
实施日期：2014-03-01
本标准规定了电子薄膜用高纯钛溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明与合同(订单)等内容。本标准适用于电子薄膜制造用的各类钛溅射靶材。
批准发布部门：工业和信息化部行业分类无
全国有色金属标准化技术委员会
起草单位：有研亿金新材料股份有限公司、宁波江丰电子材料有限公司
起草人：何金江、董亭义 等
YS/T 893-2013 电子薄膜用高纯钛溅射靶材
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