标准号：YS/T 1031-2015
标准名称：化学气相沉积炉
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
本标准适用于化学气相沉积。
批准发布部门：工业和信息化部行业分类制造业
全国有色金属标准化技术委员会
起草单位：湖南顶立科技有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所等
起草人：戴煜、 胡祥龙、 胡高健等
标准号：YS/T 1031-2015
标准名称：化学气相沉积炉
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
本标准适用于化学气相沉积。
批准发布部门：工业和信息化部行业分类制造业
全国有色金属标准化技术委员会
起草单位：湖南顶立科技有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所等
起草人：戴煜、 胡祥龙、 胡高健等
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