标准号：YS/T 1025-2015
标准名称：电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
本标准适用于电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材，以下简称高纯钨及钨合金靶。
批准发布部门：工业和信息化部行业分类制造业
全国有色金属标准化技术委员会
起草单位：宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、北京天龙钨钼科技股份有限公司等
起草人：姚力军、王学泽、丁照崇等
YS/T 1025-2015 电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材
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