标准号:YS/T 28-2015
标准名称:硅片包装
代替标准:YS/T 28-1992
发布日期:2015-04-30
实施日期:2015-10-01
本标准适用于硅单晶抛光片、外延片、SOI等硅片的洁净包装、硅单晶研磨片(简称硅研磨片)包装和太阳能电池用硅片包装,使其在运输、贮存过程中避免再次沾污和破碎。
批准发布部门:工业和信息化部行业分类制造业
全国有色金属标准化技术委员会
起草单位:杭州海纳半导体有限公司、有研新材料股份有限公司、南京国盛电子有限公司等
起草人:王飞尧、孙燕、马林宝等
标准号:YS/T 28-2015
标准名称:硅片包装
代替标准:YS/T 28-1992
发布日期:2015-04-30
实施日期:2015-10-01
本标准适用于硅单晶抛光片、外延片、SOI等硅片的洁净包装、硅单晶研磨片(简称硅研磨片)包装和太阳能电池用硅片包装,使其在运输、贮存过程中避免再次沾污和破碎。
批准发布部门:工业和信息化部行业分类制造业
全国有色金属标准化技术委员会
起草单位:杭州海纳半导体有限公司、有研新材料股份有限公司、南京国盛电子有限公司等
起草人:王飞尧、孙燕、马林宝等
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