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YS/T 1053-2015 电子薄膜用高纯钴靶材

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标准号:YS/T 1053-2015

标准名称:电子薄膜用高纯钴靶材

发布日期:2015-04-30

实施日期:2015-10-01

本标准适用于电子薄膜制造用的各类高纯钴靶。

批准发布部门:工业和信息化部行业分类制造业

全国有色金属标准化技术委员会

起草单位:宁波江丰电子材料股份有限公司,有研亿金新材料有限公司

起草人:王学泽、李勇军、郑文翔等

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