标准号:SJ/T 31083-2016
标准名称:真空镀膜设备完好要求和检查评定方法
代替标准:SJ/T 31083-1994
发布日期:2016-01-15
实施日期:2016-06-01
本标准规定了真空镀膜设备的完好要求和检查评定方法。本标准适用于BOC700-4/G型真空镀膜设备,其他型号真空镀膜设备可参照执行。
批准发布部门:工业和信息化部行业分类无
中国电子技术标准化研究院
起草单位:中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子节能技术协会、中国电子科技集团公司第五十四研究所
起草人:彭海涛、杨红伟、家秀云 等