标准号：SJ/T 11638-2016
标准名称：电子化学品中颗粒的测试方法
发布日期：2016-10-22
实施日期：2017-01-01
本标准规定了用激光粒子计数法测定液体电子化学品中颗粒的方法。
本标准适用于液体电子化学品中颗粒的连续式或单次检测计数，测定的粒径有0.1m～1.0m可选。测定的电子化学品的颖粒浓度为(0-10000)每毫升/个，其他粒径的可参考执行。
批准发布部门：工业和信息化部行业分类无
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：杭州格林达化学份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院
起草人：尹云航、陈玉英、裴会川 等