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SJ/T 1543-2020 电真空器件用镍及镍合金光谱分析方法

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标准号:SJ/T 1543-2020

标准名称:电真空器件用镍及镍合金光谱分析方法

代替标准:SJ/T 1543-1988

发布日期:2020-12-09

实施日期:2021-04-01

适用于电真空器件用镍及镍合金中元素含量的测定

批准发布部门:工业和信息化部行业分类无

全国半导体设备和材料标准化技术委员

起草单位:中国电子技术标准化研究院

起草人:张旭、张理、裴会川

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