标准号：EJ/T 20176-2018
标准名称：金刚石刀具刃口锋利度的原子力显微镜测量方法
发布时间：2018-01-18
实施时间：2018-05-01
中国标准分类：F85
国际标准分类：27.120.99
批准发布部门：科技工业局
起草单位：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所、复旦大学、哈尔滨工业大学、天津大学、上海舒伯哈特金刚石刀具有限公司、中国工程物理研究院激光聚变研究中心、中国工程物理研究院材料研究所
起草人：岳晓斌、徐敏、孙涛、房丰洲、俞蓓莉、雷大江、游雾、张剑锋、田国玉、张晓峰、刘波、崔海龙
本标准规定了使用原子力显微镜测量金刚石刀具刃口锋利度的测量原理、测量要求、测量步骤、数据处理及检测报告。本标准适用于20nm～100nm金刚石车刀刃口锋利度的测量，100nm以上刀具刃口锋利度测量也可参照执行。