标准号:JB/T 5631-1991
标准名称:半导体器件外延炉能耗分等
发布日期:1991-08-27
实施日期:1992-07-01
本标准规定了半导体器件外延炉(以下简称外延炉)能耗分等。本标准适用于电子工业企业外延炉。
批准发布部门:机械电子工业部行业分类无
标准号:JB/T 5631-1991
标准名称:半导体器件外延炉能耗分等
发布日期:1991-08-27
实施日期:1992-07-01
本标准规定了半导体器件外延炉(以下简称外延炉)能耗分等。本标准适用于电子工业企业外延炉。
批准发布部门:机械电子工业部行业分类无
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