标准号：JB/T 4081-1991
标准名称：溅射离子泵型式与基本参数
发布日期：1991-07-22
实施日期：1992-07-01
u3000u3000本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数。u3000u3000本标准适用于二电位的二极型和三极型溅射子泵。
批准发布部门：机械电子工业部行业分类无
JB/T 4081-1991 溅射离子泵型式与基本参数
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