标准号:SJ/T 11131-1997
标准名称:蒸发镀膜设备基本参数系列
发布日期:1997-09-02
实施日期:1998-01-01
本标准规定了蒸发镀膜设备基本参数系列。本标准适用于极限压力为3×10^(-3)P|(a)~5×10^(-6)P|(a)范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。
批准发布部门:电子工业部行业分类无
标准号:SJ/T 11131-1997
标准名称:蒸发镀膜设备基本参数系列
发布日期:1997-09-02
实施日期:1998-01-01
本标准规定了蒸发镀膜设备基本参数系列。本标准适用于极限压力为3×10^(-3)P|(a)~5×10^(-6)P|(a)范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。
批准发布部门:电子工业部行业分类无
声明:资源收集自网络或用户分享,所提供的电子版文档或存在错误仅供参考,版权归原作者所有,如侵犯您的权益,请联系我们处理。
不能下载?报告错误