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JB/T 10439-2004 单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉

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标准号:JB/T 10439-2004

标准名称:单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉

发布日期:2004-03-12

实施日期:2004-08-01

本标准规定了对TDR系列直拉法单晶炉的各项要求,包括品种规格、技术要求、试验方法、检验规则及订购和供货等。u3000u3000本标准适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。

批准发布部门:国家发展和改革委员会行业分类无

全国工业电热设备标准化技术委员会

起草单位:西安理工大学晶体生长设备研究所

起草人:陈巨才

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