标准号:JJG 989-2004
标准名称:光栅式测微仪检定规程
发布日期:2004-09-21
实施日期:2004-12-21
废止日期:2018-05-20
起草单位:中国科学院光电技术研究所、中国测试技术研究院
起草人:耿丽红(中国科学院光电技术研究所)、匡龙(中国科学院光电技术研究所)、曹学东(中国科学院光电技术研究所)、范天泉(中国科学院光电技术研究所)、李建民(中国测试技术研究院)
本规程适用于分辨力为0.01μm~1μm,测量范围至100mm的光栅式测微仪的首次检定、后续检定和使用中的检验。