标准号：JJF 1663-2017
标准名称：激光测微仪校准规范
发布日期：2017-11-20
实施日期：2018-02-20
起草单位：工信部电子第五研究所赛宝计量检测中心、佛山赛宝信息产业技术研究院有限公司、陕西省计量科学研究院、江苏省计量科学研究院、青海省计量检定测试所、中国计量科学研究院
起草人：李江云（工信部电子第五研究所赛宝计量检测中心）、李升春（佛山赛宝信息产业技术研究院有限公司）、常青（工信部电子第五研究所赛宝计量检测中心）、张辉（陕西省计量科学研究院）、王晓飞（江苏省计量科学研究院）、赵勇（青海省计量检定测试所）、崔建军（中国计量科学研究院）
本规范适用于采用光学三角法测量的激光测微仪的校准。
光测微仪(以下简称测微仪)是一种利用光学三角法测量原理，测量物体位移 (尺寸)变化的测量仪器，主要由激光光源、透镜、光学阵列接收部件、信号转换电路 等组成。由激光光源发出的激光束，垂直照射到被测物体表面形成光斑，然后从另一角度对物体表面的激光光斑进行成像，由接收部件对其进行瞄准并记忆。当被测物表面位 置沿激光轴线方向产生位移后，光学阵列接收部件感受到光斑的位置变化，将变化量换算成位移变化△L，再通过信号转换系统显示出位移量，其工作原理见图1。
测微仪主要用于装备制造加工中表面尺寸变化、高速旋转部件的抖动、晃动和振动 量等参数的非接触测量。