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T/AVS 002-2020 大型高真空装置涉真空部件检漏测试方法

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标准号:T/AVS 002-2020

标准名称:大型高真空装置涉真空部件检漏测试方法

发布日期:2020-09-02

实施日期:2020-10-02

批发部门:安徽省真空学会

起草单位:中国科学院等离子体物理研究所、合肥中科离子医学技术装备有限公司

起草人:陈肇玺、杨庆喜、宋云涛、陆坤、徐皓、彭学兵、陈仕琳、陈永华、李俊

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