标准号：T/GVS 010-2022
标准名称：真空卷绕镀膜设备通用技术要求
发布日期：2022-09-23
实施日期：2022-09-23
本文件规定了真空卷绕镀膜设备通用技术要求的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于真空蒸发卷绕镀膜设备、真空磁控溅射卷绕镀膜设备、真空化学气相沉积（CVD）卷绕镀膜设备。
批发部门：广东省真空学会
起草单位：广东腾胜科技创新有限公司、中山凯旋真科技股份有限公司、广东生波尔光电技术有限公司
起草人：朱刚毅、朱刚劲、杨容军、陈家发、吴洽、李晓刚、姜翠宁、徐从高