标准号：DB1310/T 227-2020
标准名称：电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术规范
发布日期：2020-10-16
实施日期：2020-11-16
本文件适用于电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术
批准发布部门：廊坊市市场监督管理局行业分类制造业
起草单位：廊坊赫尔劳斯太阳能光伏有限公司
DB1310/T 227-2020 电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术规范
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