标准号：DB32/T 4378-2022
标准名称：衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜 方块电阻的无损测试 四探针法
发布日期：2022-10-23
实施日期：2022-11-23
本文件规定了采用导电橡胶探头进行衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜方块电阻四探针无损测试的方法。
本文件适用于目测平坦且表面存在纳米、亚微米尺度薄膜样品的方块电阻测定，方块电阻测试范围为1×10-4Ω × 104Ω。
批发部门：江苏省市场监督管理局行业分类
归口单位：江苏省石墨烯检测标准化技术委员会
起草单位：江苏省特种设备安全监督检验研究院（国家石墨烯产品质量检验检测中心（江苏））、苏州晶格电子有限公司、河南煜合科技集团有限公司、江苏华永烯科技有限公司、江南大学、无锡华鑫检测技术有限公司、中国矿业大学、烯源科技无锡有限公司
起草人：杨永强、丁海龙、区炳显、谢一麟、陈武魁、刘禹、魏宁、呼志跃、王云超、王勤生、马龙、李璐、屈晓兰、陈辉、秦继恩