标准号：DB13/T 5874-2023
标准名称：电子工业用氟化氢中杂质的测定 色谱法
发布日期：2023-10-25
实施日期：2023-11-25
本文件规定了电子工业用氟化氢中杂质的测定原理、试剂或材料、仪器设备、样品、测定步骤及结果处理等。
本文件适用于电子工业用氟化氢中氢气、氧气+氩气、氮气、甲烷、一氧化碳、二氧化碳的测定。氢气、氧气+氩气、氮气、甲烷、一氧化碳、二氧化碳含量测定的检出限不大于0.01×10-6（体积分数）。
批发部门：河北省市场监督管理局行业分类无
归口单位：邯郸市市场监督管理局
起草单位：中船（邯郸）派瑞特种气体有限公司
起草人：殷越玲、郑秋艳、柳彤、李帅楠、崔雯、刘海芳、袁攀攀