标准号：DB3402/T 90-2024
标准名称：含氟中水回用处理技术规程
发布日期：2024-12-16
实施日期：2025-01-01
本文件规定了含氟中水回用处理一般要求、回用处理、再生水水质、水质监测。
本文件适用于半导体玻璃面板行业通过氢氟酸蚀刻减薄工艺产生的含氟中水的回收利用。
起草单位：芜湖长信科技股份有限公司、芜湖市标准化研究院、芜湖长信新型显示器件有限公司、重庆永信科技有限公司
起草人：郑建军、王伟、邵家满、徐娇、殷旬旬、王灿、王雨晨、李伟、高坤旭
DB3402/T 90-2024 含氟中水回用处理技术规程
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