标准号:GB/T 15862-1995
标准名称:离子注入机通用技术条件
发布日期:1995-12-22
实施日期:1996-08-01
废止日期:2013-02-15
批准发布部门:工业和信息化部(电子)
归口单位:工业和信息化部(电子)
起草单位:电子工业部第四十八研究所
本标准规定了离子注入机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。本标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。其他离子注入机亦可参照使用。
标准号:GB/T 15862-1995
标准名称:离子注入机通用技术条件
发布日期:1995-12-22
实施日期:1996-08-01
废止日期:2013-02-15
批准发布部门:工业和信息化部(电子)
归口单位:工业和信息化部(电子)
起草单位:电子工业部第四十八研究所
本标准规定了离子注入机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。本标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。其他离子注入机亦可参照使用。
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