标准号：GB/T 14141-1993
标准名称：硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
废止日期：2010-06-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：峨眉半导体材料研究所
GB/T 14141-1993 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法
免费下载
本平台标准仅供学习参考，使用请以正式出版的标准版本为准。声明：资源收集自网络分享，所提供的电子版文档仅供学习参考，如侵犯您的权益，请联系我们处理。
不能下载？报告错误