标准号：GB/T 15861-1995
标准名称：离子束蚀刻机通用技术条件
发布日期：1995-12-22
实施日期：1996-08-01
废止日期：2013-02-15
批准发布部门：工业和信息化部（电子）
归口单位：工业和信息化部（电子）
起草单位：电子部长沙半导体工艺设备所
本标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存等。本标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。其它专用离子束蚀刻机亦可参照执行。
GB/T 15861-1995 离子束蚀刻机通用技术条件
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