标准号:GB/T 4965-1985
标准名称:吸气剂分类及型号命名方法
发布日期:1985-02-28
实施日期:1985-11-01
批准发布部门:国家标准化管理委员会
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位:南京工学院
本标准规定了吸气剂分类及型号命名方法,也规定了释汞剂和碱金属释放器的表示方法。
标准号:GB/T 4965-1985
标准名称:吸气剂分类及型号命名方法
发布日期:1985-02-28
实施日期:1985-11-01
批准发布部门:国家标准化管理委员会
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位:南京工学院
本标准规定了吸气剂分类及型号命名方法,也规定了释汞剂和碱金属释放器的表示方法。
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