标准号：GB/T 15871-1995
标准名称：硬面光掩模基板
发布日期：1995-12-22
实施日期：1996-08-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：长沙韶光微电子总公司
本标准规定了硬面光掩模用玻璃基板的要求、试验方法、检验规则等内容。本标准适用于硬面光掩模用玻璃基板（以下简称基板）。
GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板
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