标准号：GB/T 15873-1995
标准名称：半导体设施接口技术文件编写导则
发布日期：1995-12-22
实施日期：1996-08-01
批准发布部门：工业和信息化部（电子）
归口单位：工业和信息化部（电子）
起草单位：中国华晶电子集团公司
本标准规定了半导体设施接口技术文件（以下简称接口文件）编写的基本要求和格式。本标准适用于半导体设施的设计、施工、供应、管理、培训及使用。
GB/T 15873-1995 半导体设施接口技术文件编写导则
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