标准号：GB/T 16527-1996
标准名称：硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范
发布日期：1996-09-09
实施日期：1997-05-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：长沙韶光微电子总公司
本标准规定了硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂涂层的要求、试验方法等内容。本标准适用于硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂的涂层检验。
GB/T 16527-1996 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范
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