标准号：GB/T 17170-1997
标准名称：非掺杂半绝缘砷化镓单晶深能级EL2浓度红外吸收测试方法
发布日期：1997-12-22
实施日期：1998-08-01
废止日期：2016-07-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：电子工业部第四十六研究所
本标准规定了非掺杂半绝缘砷化镓单晶及其晶片深能级EL2浓度红外吸收测试方法。本标准适用于电阻率大于10Ω·cm的非掺杂半绝缘砷化镓单晶及其晶片深能级EL2浓度的测定。本标准不适用于掺铬半绝缘砷化镓试样深能级EL2浓度测定。
