标准号：GB/T 11164-1999
标准名称：真空镀膜设备通用技术条件
发布日期：1999-04-08
实施日期：1999-09-01
废止日期：2012-03-01
批准发布部门：中国机械工业联合会
归口单位：全国真空技术标准化技术委员会
起草单位：上海曙光机械制造厂
本标准规定了真空镀膜设备技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于压力在10～10Pa范围的蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备（以下简称设备）。
GB/T 11164-1999 真空镀膜设备通用技术条件
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